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KSSシリーズ球面鏡も3mの大口径ミラーまでご用途に応じ各種設計製作をいたします。

KSEシリーズ楕円面鏡は高精度に製作され、キセノンランプ、超高圧水銀ランプ等の光束を高効率で集光する事ができます。
反射面は紫外域より赤外域までそれぞれの反射・透過の設計が可能です。
その他、水冷式金属反射鏡など、各種設計製作も承っております。

最新の要件に対応するガスケットプレート式熱交換器

6インチウェハ対応　フルオートブレーク装置

４インチウェハ対応　セミオートスクライブ装置

GV Series models provide pinpoint infrared beam irradiation to enable rapid non-contact heating of the sample only. They can be used with samples placed in various atmospheres such as ultra-high vacuum or gas flows, and can be easily connected to vacuum systems and analysis systems.

Features
1.High-speed heating
2.Clean heating
3.Localized heating
4.Freely connectable

Models that irradiate and heat the sample with an infrared beam emitted from the tip of a quartz rod.

Features
1.High-speed heating
2.360 degrees
3.Pinpoint-heating
4.from 100 V power

These temperature controllers are ideal for use with infrared heating systems and electric furnaces. The wide model lineup ranges from advanced-function programmed temperature controllers to low-cost constant-value temperature controllers.

空気圧を測定・制御するための差圧計（圧力スイッチ）
製品シリーズ
MS99 / MS99S / MS61A-RA

エミネントスプレイ技術（特許取得）により均一性の高いエッチング精度を誇るDESラインです。薄物基板の安定搬送やRoll to Rollにも対応。