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Panel FOUP (角型基板向けのFOUP)Panel FOUP (角型基板向けのFOUP)
半導体パッケージ FO-PLP 生産プロセス向けで開発中,SEMI規格E181に準じた自動化対応品,SEMI規格による基板サイズ
・510x515
・600x600
カスタマイズ対応も可能です。
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平面ミラー・レンズ平面ミラー・レンズ
平面反射ミラーや、高精度インテグレーターレンズなども設計、製作致しております。
仕様など詳細につきましては、弊社まで直接お問い合せ下さい。
※平面ミラーはAl、CM、UVその他の各種コーティングが可能です。 -
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楕円ミラー楕円ミラー
KSEシリーズ楕円面鏡は高精度に製作され、キセノンランプ、超高圧水銀ランプ等の光束を高効率で集光する事ができます。
反射面は紫外域より赤外域までそれぞれの反射・透過の設計が可能です。
その他、水冷式金属反射鏡など、各種設計製作も承っております。
