KUMASAN MEDIX CO., LTD.
Scribing Machine TEC-2005RM
Scribing Machine TEC-2005RM
４インチウェハ対応 セミオートスクライブ装置
詳細
加工軸．送り軸．カメラ軸が、それぞれ独立。
高速で使用する際の振動やブレを排し、きれいなスクライブラインを生み出します。
さらに、条件設定を高速化することができます。
オートアライメント機能
テクダイヤオリジナル画像認識システムにより、バーアレイの一括認識を行うことができます。
さらに、１チップ認識の可能な、破片ウェハモードも搭載しています。
エア制御によるツール加圧
バネ方式のように切り込み深さに左右されず、一定の荷重が可能になると共に、
エアサスペンション効果によりツールのジャンピングが極めて少なくなります。
リニアサーボモータの搭載
駆動側の振動を減らすために、リニアサーボモータを搭載し、
より精密なスクライブが可能になりました。