Breaking Machine TEC-1228AL

KUMASAN MEDIX CO., LTD.

6インチウェハ対応　フルオートブレーク装置

詳細

最大6inchウェハ対応
2インチから4インチウェハにも対応可能です。

高スループット
ダブルアーム搬送により、搬送時間を大幅に短縮し、高スループットを実現しました。

ブレーク結果判別機能搭載
ブレーク結果判別機能を搭載することにより、ブレークミスを防止可能です。