装置

４インチウェハ対応　セミオートスクライブ装置

GV Series models provide pinpoint infrared beam irradiation to enable rapid non-contact heating of the sample only. They can be used with samples placed in various atmospheres such as ultra-high vacuum or gas flows, and can be easily connected to vacuum systems and analysis systems.

Features
1.High-speed heating
2.Clean heating
3.Localized heating
4.Freely connectable

Models that irradiate and heat the sample with an infrared beam emitted from the tip of a quartz rod.

Features
1.High-speed heating
2.360 degrees
3.Pinpoint-heating
4.from 100 V power

These temperature controllers are ideal for use with infrared heating systems and electric furnaces. The wide model lineup ranges from advanced-function programmed temperature controllers to low-cost constant-value temperature controllers.

エミネントスプレイ技術（特許取得）により均一性の高いエッチング精度を誇るDESラインです。薄物基板の安定搬送やRoll to Rollにも対応。

製品特徴
１.高性能定量吐出パンプ
2.高精度ノズル
3.高速塗布対応
4.ロボット搬送に対応
5.ロック機構付き安全カバー搭載
6.ノズル先端管理ユニット搭載
7.塗布液＆洗浄液自動供給システム搭載
8.エアー浮上式のため基板裏面接触によるダメージ削減
9.エアー浮上式のため基板剥離による静電気問題無
10.基板連続投入による高速酢ループットに対応

 

製品特徴
１.高性能定量吐出パンプ
2.高精度ノズル
3.高速塗布対応
4.ロボット搬送に対応
5.ロック機構付き安全カバー搭載
6.ノズル先端管理ユニット搭載
7.塗布液＆洗浄液自動供給システム搭載
8.減圧乾燥機もセットで販売

PP発泡成形ソフトボックスは軽量で柔軟性に富み、優れた衝撃吸収性と耐久性がガラス基板の通函に適しています。基板取り出しの自動機に対応した設計で、帯電防止タイプも製作可能です。発泡BOXの品種により0.4mm・0.5mmのガラス基板にも対応しています。

小型基板サイズ違いにも対応したカセット。位置変更が可能です。

基板受けにワイヤ－を使用、高い張力にて撓みを抑制しています。

BSはCFRPの高弾性を使用して軽量化。搬送系に負担の少ないカセットを実現しています。

SUSフレ－ムを使用、BSはCFRPの円錐タイプにて振動減衰、軽量化された製品です。