装置

Sumitomo高純度オゾン水発生器は自社のオゾン発生器とオゾン分解装置を組み合わせたものです。 原理はオゾンを分解して超純水に溶かすことです。

SUMITOMO OZONE発生器は、電気を通した後、酸素をオゾンに変換するフラット放電セルを使用しています。
生成されるオゾン濃度は、業界最高の仕様である400g / m3（N）を超えています。

高精細フォトマスクに対応したスピンタイプ洗浄装置

•洗浄面への洗浄液高速拡散
•異物・反応生成物の急速排除
•ウオーターマークレス乾燥

本装置は、キセノンショートアークランプを主体に独自開発の光学フィルター・光学レンズ等を搭載することにより、太陽光に近似した光を人工的に生成します。