装置

SUMITOMO OZONE発生器は、電気を通した後、酸素をオゾンに変換するフラット放電セルを使用しています。
生成されるオゾン濃度は、業界最高の仕様である400g / m3（N）を超えています。

高精細フォトマスクに対応したスピンタイプ洗浄装置

•洗浄面への洗浄液高速拡散
•異物・反応生成物の急速排除
•ウオーターマークレス乾燥

本装置は、キセノンショートアークランプを主体に独自開発の光学フィルター・光学レンズ等を搭載することにより、太陽光に近似した光を人工的に生成します。