TAZMO CO., LTD.
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エアー浮上型塗布装置
製品特徴
1.高性能定量吐出パンプ
2.高精度ノズル
3.高速塗布対応
4.ロボット搬送に対応
5.ロック機構付き安全カバー搭載
6.ノズル先端管理ユニット搭載
7.塗布液&洗浄液自動供給システム搭載
8.エアー浮上式のため基板裏面接触によるダメージ削減
9.エアー浮上式のため基板剥離による静電気問題無
10.基板連続投入による高速酢ループットに対応
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カントリー移動型塗布装置
製品特徴
1.高性能定量吐出パンプ
2.高精度ノズル
3.高速塗布対応
4.ロボット搬送に対応
5.ロック機構付き安全カバー搭載
6.ノズル先端管理ユニット搭載
7.塗布液&洗浄液自動供給システム搭載
8.減圧乾燥機もセットで販売