製品特徴 １.高性能定量吐出パンプ 2.高精度ノズル 3.高速塗布対応 4.ロボット搬送に対応 5.ロック機構付き安全カバー搭載 6.ノズル先端管理ユニット搭載 7.塗布液＆洗浄液自動供給システム搭載 8.エアー浮上式のため基板裏面接触によるダメージ削減 9.エアー浮上式のため基板剥離による静電気問題無 10.基板連続投入による高速酢ループットに対応
