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省エネ・高精度モデル/標準モデル 精密空調機

省エネ・高精度モデル/標準モデル 精密空調機

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詳細
  • 詳細
完全ヒーターレスによる大幅な省エネを実現するとともに、±0.1℃/±0.5%RHという高精度温湿度制御を実現します（PAU-AZシリーズ）。
  • 応用
1.半導体業界
a. 半導体前工程_フォトリソ工程: 露光装置、スピンコーター（６インチ、８インチ）
b. 半導体後工程: モールドプレス、プローバ
2.電機、電子業界: 半田印刷機、充放電装置
3.金属加工、輸送業界: 超精密加工機、エンジンベンチ
4.薬品、食品、化学業界: 打錠機、電子天秤、分注装置
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