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ノンフロン・省エネ精密空調機

ノンフロン・省エネ精密空調機

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詳細
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精密空調機PAU-GRシリーズは、地球環境に優しい(GWP<1)最新冷媒のR1234yfを採用しました。
※キガリ改正でGWPが高いHFC、HCFCは削減が義務付けられました。
さらに、オリジナル冷凍回路技術により、完全ヒータレスとインバータ制御によるに大幅な省エネ性と±0.1℃/±0.5%RHという高精度温湿度制御を両立します。
  • 応用
1.半導体業界
a. 半導体前工程_フォトリソ工程: 露光装置、スピンコーター(6インチ、8インチ)
b. 半導体後工程: モールドプレス、プローバ
2.電機、電子業界: 半田印刷機、充放電装置
3.金属加工、輸送業界: 超精密加工機、エンジンベンチ
4.薬品、食品、化学業界: 打錠機、電子天秤、分注装置